○ 新材料、 新工藝和新技術(shù)的開發(fā)應(yīng)用
半導(dǎo)體材料在敏感技術(shù)中占有較大的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 半導(dǎo)體傳感器不僅靈敏度高 、 響應(yīng)速度快、體積小、質(zhì)量輕 ,而且便于集成化 ,仍將占有主要地位 ;。
以一定化學(xué)成分 、 經(jīng)過成型及燒結(jié)的功能陶瓷材料 ,其*大特點(diǎn)是耐熱性 ,在敏感技術(shù)的發(fā)展中具有很大的潛力; 同時(shí)將半導(dǎo)體的精密細(xì)微加工技術(shù) 、靜電封接技術(shù)等應(yīng)用在傳感器的制造中 , 可極大提高傳感器的性能指標(biāo) 。
○ 傳感器發(fā)展的集成化、多維化 、多功能化和智能化
采用集成加工技術(shù) ,將傳感器的各部分制作在同一個(gè)芯片上, 從而使傳感器具有了體積小 、質(zhì)量輕、生產(chǎn)自動(dòng)化程度高、制造成本低 、穩(wěn)定性和可靠性高、 安裝調(diào)試時(shí)間短等優(yōu)點(diǎn) 。
使用電子掃描技術(shù),將多個(gè)傳感器單元做在一起, 就可以研究多維空間的問題,如 CT技術(shù)等 ; 智能化傳感器還能將數(shù)據(jù)的采集 、 存儲(chǔ) 、 處理等一體化,從而實(shí)現(xiàn)其多功能化 。
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