這種原理的微光電開關傳感器最早于一九九一年見諸報道，是最早成功實現(xiàn)商業(yè)化的加速度微傳感器之一，測量范圍為+5g，分辨率為0.005g。目前已經在汽車的防撞氣囊中得到應用。
根據(jù)力平衡的概念。如果施加一靜態(tài)平衡力給第三加速度質量塊，這個力保持質量塊始終在很接近零位置上。這一感受質量塊位移、阻止質量塊偏移零位并與位移量大小成比例的靜態(tài)平衡力就是代表加速度信號的平衡信號，測出平衡信號，就得到被測的加速度信號。根據(jù)力平衡概念和反饋原理設計的零位力平衡式硅電容式加速度傳感器的結構，敏感器件采用SI-玻璃-SI玻璃-SI結構。兩玻璃層鍵合連接在中間硅微結構的上、下，與懸臂梁連接的活動極板質量塊構成差動平板電容器。當有加速度A作用時，質量塊敞向上下振動，由于偏離水平中間位置，引起電容量變化。變化量C由檢測電路檢測到，并由放大器A輸出到脈寬調制器，脈寬調制器感受到最富低保戶為化C并輸出對應的調制電壓信號UE和UE，分別加到差動平板電容器上，在活動極板相應位置產生一個靜電力阻止活動極板偏離零位。 |
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