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　　交流電橋電路的其中兩個橋臂是電容式傳感器，如果電容式傳感器由于外界因素影響產生電容的變化，電橋電路將會失去平衡，此時電容的變化就轉化成電壓的變化輸出。電橋電路可以分為電阻-電容、電感-電容組成的交流電橋電路，諧振電路的頻率變化經過鑒頻器轉換成電壓信號的變化，最后經過放大器放大輸出。

　　這種測量電路的靈敏度很高，最小可測0.01um的位移變化量，具有較高的抗干擾能力。而相比光電開關它的缺點是受電纜電容、溫度變化影響較大，輸出電壓u。與被測量的特性曲線是非線性的，需要校正電路進行校正，因此導致電路更加復雜。