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ZNO也是N型半導(dǎo)體，其物理、化學(xué)性能穩(wěn)定。ZNO元件的工作溫度較高，因此其發(fā)展不及SNO2元件快。ZNO接近開關(guān)所系元件也可分為燒結(jié)型、厚膜型和薄膜型三號(hào)。 ZNO薄膜死光光精第三元件的結(jié)構(gòu)。在A12O3基片 上先做叉指型金電極，并在基片 北面制作阻值約20歐的耐高溫薄膜電阻作為加熱器。使用磁控濺射 法，在AR+O2混合氣體中用高純鋅板為靶材，在基片 上反應(yīng)濺射 ZNO薄膜，同時(shí)在ZNO薄膜表面摻雜鑭、錯(cuò)、釓、鏑和釓等衡土元素的一種或數(shù)種，以提高靈敏度和選擇性，可獲得對(duì)酒精特別第三，對(duì)甲烷、一氧化碳及汽油等較靈敏的酒精第三元件。成膜后在500-600度下、空氣中熱處理，以減少薄膜中活性較大的缺陷和內(nèi)應(yīng)力，使ZNO薄膜的晶粒長(zhǎng)大，晶粒間界減少，從而以元件的靈敏度略有下降為代價(jià)來明顯改善其穩(wěn)定性。按此工藝制備的ZNO薄膜的晶粒尺寸約為600nm，對(duì)酒精的靈敏度比對(duì)汽油的靈敏度高出近一倍，再配合適當(dāng)?shù)妮o助電路，可避免汽油對(duì)檢測(cè)酒精的干擾。相關(guān)的ZNO酒精第三元件的主要參數(shù)如下：加熱電阻為20歐，加熱電壓為AC或DC6V。工作電壓6。響應(yīng)時(shí)間小于10s |
當(dāng)前位置：
